離子去膠機 型號：PR-3

通過等離子體方法，對陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進行干法去除。設備為單室真空系統，主要由真空系統、氣路系統、電氣系統、射頻電源系統、控制系統、冷卻系統、報警系統等部分組成。  
射頻電源采用RF500W電源控制。  
氣路系統采用兩臺浮子流量計控制氣體進氣。 
  腔室結構：臥式、純石英 
  真空室規格：F210´300mm 
  限真空：1Pa（環境濕度≤55%） 
  真空系統:機械泵 
  大裝片直徑: F4英寸 
   大裝片容量：4英寸 25片/爐 
  去膠速率: ～500A/min 
  去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋范圍內) 
  操作方式:手動方式 
用戶可選配全自動控制方式

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